去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水。國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC 147規(guī)定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質(zhì)，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。

在半導(dǎo)體行業(yè)中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。

去離子水制取工藝及其特點(diǎn)：

1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。

（特點(diǎn)：污染比較大，自動(dòng)化程度低，初期投入低）

2、反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。

（特點(diǎn)：污染小，自動(dòng)化程度高，初期投入中等，價(jià)格適中）

3、反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋?/span>

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點(diǎn)。

（特點(diǎn)：環(huán)保，自動(dòng)化程度高，初期投入大，價(jià)格相對(duì)比較貴。

用途：

1、實(shí)驗(yàn)室、化驗(yàn)室用水，一般實(shí)驗(yàn)室的常規(guī)試驗(yàn)、配置常備溶液、清洗玻璃器皿等；

2、電子工業(yè)生產(chǎn)，如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計(jì)算機(jī)硬盤、集成電路芯片、單晶硅半導(dǎo)體等；

3、電力鍋爐，鍋爐所需軟化水、除鹽；

4、汽車、家用電器、建材表面涂裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗等；

5、石油化工行業(yè)，化工反應(yīng)冷卻水、化學(xué)藥劑、生產(chǎn)配液用水等；

6、工業(yè)紡織印染、鋼鐵清洗用水等；

7、食品、飲料、酒類、化妝品生產(chǎn)用水；

8、海水、苦咸水等凈化……

處理步驟：

從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)

2、然后高壓通過反滲透膜

3、最后一般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物

4、假如此時(shí)電阻率還沒有達(dá)到要求的話，可以再進(jìn)行一次離子交換過程最高電阻率可達(dá)到18兆。

相對(duì)而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導(dǎo)體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水

新型設(shè)備：

目前被廣泛應(yīng)用的EDI系統(tǒng)就是現(xiàn)在最為熱門的新型電除鹽系統(tǒng)，它取代傳統(tǒng)離子混床裝置成為純水行業(yè)的新星。EDI系統(tǒng)不但彌補(bǔ)了傳統(tǒng)工藝的缺陷簡化工藝步驟，而且還提高生產(chǎn)效率；不論是從設(shè)備本身的性能，還是經(jīng)濟(jì)投資方面都比傳統(tǒng)的去離子水設(shè)備更具優(yōu)勢(shì)。