超純水：是指水中的導電介質幾乎完全去除，同時不離解的氣體、膠體以及有機物質也去除至很低程度的水。在一般情況下，我們把電導10.0μs/cm以上的稱做普通純水，電阻率大于1MΩ·CM稱為超純水，超純水又分為幾個級別，一般根據行業特點及客戶具體要求來確認具體產水要求。
A、電子工業用超純水設備------- 單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝用純水。
B、一般工業用純水設備------鍍膜玻璃、電鍍、表面涂裝、紡織印染、工業配液、工業產品清洗等用水。
C、 精細化工行業用純水設備------化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
2、超純水工藝（1-18MΩ·CM，所有數據均為再線監測）
A、原水箱-增壓泵-砂濾-碳濾-陽離子交換器-陰離子交換器-純水箱-增壓泵-混合離子交換器-超純水箱(一般出水可達5MΩ·CM以上）
B、原水箱-增壓泵-砂濾-碳濾-保安過濾器-RO反滲透-純水箱-增壓泵-混合離子交換器(一般出水可達10MΩ·CM以上）
C、原水箱-增壓泵-砂濾-碳濾-保安過濾器-RO反滲透-純水箱-增壓泵-混合離子交換器-核能混床(一般出水可達15MΩ·CM以上）
D、原水箱-增壓泵-砂濾-碳濾-軟水器-PH調節-保安過濾器-RO反滲透-純水箱-增壓泵-EDI電去離子(一般出水可達15MΩ·CM以上）
E、原水箱-增壓泵-砂濾-碳濾-軟水器-保安過濾器-RO反滲透-PH調節－RO反滲透-純水箱-增壓泵-EDI電去離子-核能混床(一般出水可達18MΩ·CM以上）超純水工藝：主要有陽陰離子交換+混合離子交換工藝；RO反滲透+混合離子交換工藝；RO反滲透+EDI工藝