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去離子水/超純水水質標準（國家電子級水質標準）
說明：
1、 一級超純水，水樣接觸到空氣后，電阻率18 MΩ，cm(25℃)會下降。
2、 電阻率和電導率是倒數關系。
|
指標 |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
EW-Ⅴ |
|
電阻率 MΩ·cm（25℃） |
18 |
15 |
10 |
≥2 |
≥0.5 |
|
大于1μm微粒數，最大值，個/mL |
1 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
大于0.5μm微粒數，最大值，個/mL |
100 |
300 |
500 |
1000 |
2000 |
|
細菌個數，最大值，個/mL |
1 |
5 |
10 |
50 |
100 |
|
總有機碳含量，最大值 |
50 |
100 |
200 |
1000 |
1000 |
|
二氧化硅總含量，最大值 |
2 |
20 |
50 |
100 |
1000 |
|
氯含量，最大值 |
0.5 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
銅含量，最大值 |
0.2 |
2 |
5 |
50 |
500 |
|
鉀含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
1000 |
|
鈉含量，最大值 0 |
0.5 |
6 |
10 |
200 |
500 |
|
鋅含量，最大值 |
0.2 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
鋁含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
鐵含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
鈣含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
化學指標單位：μg/L
|
指標級別 |
一級 |
二級 |
三級 |
四級 |
|
在線電阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％時間）不低于17 |
15，（95％時間）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
|
在線電導率 μS，cm(25℃) |
0.055 |
0.066 |
0.083 |
2 |
|
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1μm微粒數，最大值，個/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
細菌個數，最大值，個/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
銅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
鋅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
鎳，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
鈉，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
鉀，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
總有機酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
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