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去離子水/超純水水質標準（國家電子級水質標準）
說明：
1、 一級超純水，水樣接觸到空氣后，電阻率18 MΩ，cm(25℃)會下降。
2、 電阻率和電導率是倒數關系。
| 指標 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | EW-Ⅴ |
| 電阻率 MΩ·cm（25℃） | 18 | 15 | 10 | ≥2 | ≥0.5 |
| 大于1μm微粒數，最大值，個/mL | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 |
| 大于0.5μm微粒數，最大值，個/mL | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 |
| 細菌個數，最大值，個/mL | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 |
| 總有機碳含量，最大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 1000 |
| 二氧化硅總含量，最大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 |
| 氯含量，最大值 | 0.5 | 2 | 10 | 100 | 500 |
| 銅含量，最大值 | 0.2 | 2 | 5 | 50 | 500 |
| 鉀含量，最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 1000 |
| 鈉含量，最大值 0 | 0.5 | 6 | 10 | 200 | 500 |
| 鋅含量，最大值 | 0.2 | 2 | 10 | 100 | 500 |
| 鋁含量，最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
| 鐵含量，最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
| 鈣含量，最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
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