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中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準
化學指標單位：μg/L
| 指標級別 | 一級 | 二級 | 三級 | 四級 |
| 在線電阻率 MΩ，cm(25℃) | 18以上，（95％時間）不低于17 | 15，（95％時間）不低于13 | 12.0 | 0.5 |
| 在線電導率 μS，cm(25℃) | 0.055 | 0.066 | 0.083 | 2 |
| 全硅，最大值,μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
| ＞1μm微粒數，最大值，個/mL | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
| 細菌個數，最大值，個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
| 銅，最大值，μg/L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 鋅，最大值，μg/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
| 鎳，最大值，μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
| 鈉，最大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
| 鉀，最大值，μg/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
| 氯，最大值，μg/L | 1 | 1 | 10 | 1000 |
| 硝酸根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 磷酸根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 硫酸根，最大值，μg/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 總有機酸，最大值，μg/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
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